WAFER MATERIALS LASER PROCESSING

晶圆材料激光加工解决方案

面向硅、SiC、GaN、玻璃与陶瓷晶圆及封装载板,覆盖划片、切割、开槽、微孔、开窗和永久追溯。

4核心激光工艺
6典型材料形态
1验证交付闭环

MATERIAL BEFORE POWER

从完整晶圆,控制到单颗器件

晶圆尺寸、厚度、晶向、翘曲、背膜和正反面层系会共同影响定位、吸附、焦点、划片边缘与颗粒控制。

方案需要把晶圆材料、层系、载具、视觉对准、刀道或图形文件、崩边标准、洁净度、良率和自动上下料放在同一验证闭环中。

01

材料先行

确认牌号、状态、厚度、表面与真实来料波动。

02

质量量化

把外观、截面、性能与追溯要求转成验收项。

03

节拍闭环

把光学、工装、运动、检测和自动化一起验证。

MATERIAL SYSTEMS

先识别具体晶圆材料体系

同一材料名称下,牌号、状态和工件形态仍会显著改变参数窗口与风险点。

01

硅晶圆

逻辑、功率、MEMS 与传感器应用广泛,重点控制崩边、颗粒、热影响和刀道一致性。

SILICON WAFER
02

SiC 晶圆

高硬度宽禁带衬底,划片与切割需关注裂纹、效率、边缘和亚表面损伤。

SIC WAFER
03

GaN 晶圆与外延片

衬底和外延层结构决定能量选择性、热影响和功能层保护。

GAN WAFER
04

玻璃晶圆

透明脆性材料可用于载板、微流控与封装,需稳定控制焦点和内部改质。

GLASS WAFER
05

陶瓷晶圆与基板

AlN、氧化铝等材料的微孔和轮廓加工需控制粉尘、裂纹和边缘。

CERAMIC WAFER
06

封装载板

多层、金属化与功能区并存,需要精密对准、选择性去除和追溯。

PACKAGE CARRIER
需要了解 Si、SiC、GaN 与封装材料本身? 半导体材料页面从材料体系和层间选择性展开工艺风险。

ENGINEERING INPUTS

设备选型需要哪些信息?

把以下信息一次提供完整,才能从“设备报价”进入可验证的“制造方案”。

01 / MATERIAL

尺寸与层系

确认晶圆材质、直径、厚度、晶向、外延或膜层、背膜和表面状态。

02 / GEOMETRY

刀道与图形

提供版图、切割道、微孔或开槽位置、禁切区、正反面对准和边缘排除区。

03 / QUALITY

崩边与良率

明确崩边、裂纹、颗粒、翘曲、热影响、残留和良率统计方法。

04 / PRODUCTION

洁净与搬运

确认 FOUP 或料盒、真空吸附、视觉、自动上下料、检测、追溯和节拍。

制造目标优先工艺验证重点
晶圆划片与精密分割激光切割崩边、裂纹、翘曲、刀道和颗粒
薄膜开窗与背面去除激光蚀刻层间选择性、残留、基底保护和均匀性
晶圆与器件追溯激光打标功能区、对比度、读取率和数据闭环
微孔、微槽与局部改质激光微加工对准、焦点、重铸、洁净度和效率

VALIDATION WORKFLOW

样件验证,不止是“打个样”

把材料、工艺、设备和生产接口放在同一条验证链路中,减少设备到场后的二次试错。

  1. 01
    需求与样件归档

    确认材料、图纸、产能目标和验收方法。

  2. 02
    工艺窗口开发

    围绕关键变量建立可复现的参数边界。

  3. 03
    质量与节拍验证

    依据双方确认的项目指标形成验证记录。

  4. 04
    设备与集成交付

    固化光学、运动、工装、安全和自动化方案。

FAQ

晶圆材料激光加工常见问题

如果已有材料、图纸或当前工艺数据,可直接提交进行针对性评估。

晶圆划片为什么要同时提供厚度和晶向?

厚度、晶向和材料体系会影响裂纹扩展、边缘和加工策略,是确定参数窗口与夹持方式的基础。

有背膜的晶圆如何进行激光切割?

需要明确背膜材质、厚度、粘附与后续分离要求,联合验证晶圆和背膜的能量选择性。

晶圆翘曲会怎样影响加工?

翘曲会改变焦点和吸附稳定性,需评估高度测量、动态对焦、夹具与路径补偿。

玻璃晶圆与硅晶圆能共用设备吗?

平台可能复用,但波长、光学、工艺头、夹具、参数和检测通常不同,需要分别验证。

如何评估划片后的崩边?

应明确正面、背面和侧壁的测量区域、允许尺寸、统计方法与抽检数量,再按统一标准比对。

晶圆项目需要提供版图文件吗?

建议提供刀道或图形文件、基准、边缘排除区、禁切区和正反面对准关系,以便评估运动与视觉方案。

BUILD THE RIGHT PROCESS

把晶圆层系、刀道与良率要求,固化为量产工艺窗口

提交材料牌号、厚度、图纸、产能和质量目标,我们将据此梳理设备与验证路径。

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