SEMICONDUCTOR LASER MANUFACTURING

半导体激光解决方案

面向晶圆、封装、功率器件、引线框架、陶瓷基板和功能薄膜,以低热输入、微小尺度和洁净制造建立工艺窗口。

6典型制造场景
6核心激光工艺
6行业设备入口

APPLICATION BEFORE POWER

低热影响只是起点,洁净与选择性同样关键

半导体项目需要同时控制微裂纹、崩边、颗粒、残留、层间选择性、热影响与追溯,工艺必须对应具体器件和层系。

方案从晶圆或器件状态、材料层系、微小特征、功能区、洁净等级和量产接口出发,联合验证波长、脉宽、光束、运动、视觉、抽排和检测。

01

零件先行

从真实材料、图纸、样品和来料波动建立边界。

02

质量量化

把外观、截面、功能和检测转成明确验收项。

03

量产闭环

把光学、运动、工装、检测和数据一起验证。

MANUFACTURING SCENARIOS

半导体的六类关键制造任务

每个场景对应不同材料、几何、质量和节拍,设备配置应由真实任务反推。

01WAFER DICING

晶圆划片与微切割

硅、化合物半导体和晶圆材料关注崩边、裂纹、颗粒与良率。

02PACKAGE WELDING

封装与气密连接

金属封装、盖板和传感器结构需要低热输入与可靠密封。

03POWER DEVICES

功率器件互连

铜铝端子、DBC 与功率模块连接强调电阻、强度和热循环。

04LEADFRAME

引线框架与精密结构

薄金属框架和微结构需要控制毛刺、变形与高节拍。

05SUBSTRATE & FILM

基板与功能层

陶瓷、玻璃、薄膜和涂层需要选择性去除、开窗和微结构。

06TRACEABILITY

器件标识与追溯

封装器件、晶圆和托盘需要低损伤编码与视觉数据闭环。

ENGINEERING INPUTS

行业设备选型,需要哪些项目输入?

信息越完整,越能从通用设备报价进入针对零件、质量与节拍的制造方案。

01 / STACK

材料与层系

确认晶圆、衬底、金属、陶瓷、薄膜、涂层、厚度、晶向和功能层。

02 / FEATURE

器件与微结构

提供特征尺寸、街区、孔槽、禁损区、功能面、边缘距离和定位标记。

03 / QUALITY

良率与洁净

明确崩边、裂纹、颗粒、残留、热影响、气密、电阻和检测方法。

04 / FAB

环境与量产接口

确认洁净等级、载具、视觉、自动搬运、抽排、在线检测、MES 和节拍。

制造目标优先工艺验证重点
晶圆、基板与微结构加工激光微加工脉宽、焦点、精度、裂纹、颗粒和洁净
晶圆划片与引线框架轮廓激光切割崩边、毛刺、热影响、变形和良率
封装、盖板与功率互连激光焊接热输入、熔深、气密、电阻和强度
功能层开窗与选择性去除激光蚀刻选择性、残留、均匀性和基底保护

VALIDATION WORKFLOW

从样件验证,到量产交付

把工艺窗口、质量检测、节拍和产线接口放在同一条验证链路中。

  1. 01
    需求与样件归档

    确认材料、零件、图纸、质量和生产目标。

  2. 02
    工艺窗口开发

    围绕关键变量建立可复现的参数边界。

  3. 03
    质量与节拍验证

    按双方确认的方法记录检测与稳定性。

  4. 04
    设备与产线交付

    固化光学、运动、工装、安全与数据方案。

FAQ

半导体激光项目常见问题

已有零件、材料或当前工艺数据,可直接提交进行针对性评估。

半导体激光工艺为什么不能只看加工速度?

还需同时评估崩边、微裂纹、颗粒、残留、热影响、功能损伤和良率,速度必须在质量窗口内验证。

不同晶圆材料可以共用一套参数吗?

不能默认共用。材料吸收、晶向、厚度、外延层和结构不同,应分别开发并固化窗口。

如何评估功能薄膜的选择性去除?

需明确每层材料、厚度和允许损伤,通过截面、表面、光学或电性能检查去除层和基底。

封装激光焊接如何控制热影响?

应结合材料、接头、光斑、脉冲、速度、夹具和热路径优化,并验证气密、截面和器件功能。

设备能否进入洁净室?

可按洁净等级评估材料、润滑、运动、抽排、颗粒、维护、载具和自动化接口。

样件验证需要提供哪些信息?

建议提供材料层系、晶圆或器件状态、图纸、禁损区、洁净与功能标准、检测方法和量产节拍。

BUILD THE RIGHT PROCESS

把器件层系、微小特征与洁净良率,转成稳定的半导体激光工艺

提交材料、图纸、质量、节拍与集成要求,我们将据此梳理工艺和设备路径。

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